Предназначен: для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей. |
Технические характеристики | |
Параметры |
ВУП-7 вакуумный универсальный пост |
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Па | 2×10-4 |
Диаметр мишени магнетрона, мм | 52 |
Блок питания DC | 1000 |
Температура нагрева подложки, °C | 350 |
Скорость вращения подложки, rpm | 5 — 15 |
Система напуска и стабилизации давления газа | одноканальная (пьезонатекатель) |
Масса прибора, кг, не более | 380 |
Электрическое питание, В | 380 / 220 |
Потребляемая мощность, кВА | 4,5 |