Предназначен: предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов. Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях нayки и техники. |
Технические характеристики | |
Параметры |
ВУП-5М вакуумный универсальный пост |
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Па | 2×10-4 |
Диаметр мишени магнетрона, мм | 40 |
Блок питания DC магнетрона | 1100 |
Температура нагрева подложки, °C | 350 |
Скорость вращения подложки, rpm | 5 — 15 |
Система напуска и стабилизации давления газа | одноканальная (пьезонатекатель) |
Масса прибора, кг, не более | 380 |
Электрическое питание, В | 380 / 220 |
Потребляемая мощность, кВА | 4,5 |